040 - Laboratorija za atomsku fiziku
Rukovodilac
Suzana Petrović
Zvanje:
- Kontakt: spetro@vin.bg.ac.rs
Laboratorija za atomsku fiziku
Proučavanje fizičkih metoda deponovanja materijala (PVD) – vakuumsko naparavanje, jonsko rasprašivanje i reaktivno deponovanje za dobijanje široke klase tankih slojeva, od metala do dielektrika, kao i tvrdih i zaštitnih prevlaka; karakterizacija njihovoh osobina. Ispituje se uticaj promene energije primarnih jona Ar (1-2 keV), rasprašenih čestica i rasejanih neutrala na slojnu otpornost, veličinu kristaliteta i preferencijalnu orijentaciju tankog sloja.