|
|
|
||||
| Јонски имплантер - HV terminal 500 kV | Balzers SPUTTRON II систем за депозицију танких слојева | Комора за депозицију танких слојева под малим угловима електронским снопом (GLAD) | ||||
|
|
||||||
|
|
|
||||
| SPECSTM XPS (Рендгенска фотоелектронска спектроскопија) | HORIBA JOBIN YVON iHR 320 Елипсометар | evico magnetics - Keров микроскоп и магнетометар | ||||
|
|
||||||
 |
 |
 |
||||
|
SEM - JEOL 25N са EPMA |
ANA - HV јединица за депозицију танких слојева са дуалним јонским снопом | JANDEL - 4 тачке (уређај за мерење површинске проводљивости) | ||||
|
|
||||||
 |
 |
 |
||||
| Balzers BAK 550 евапорациони систем | VEECO MultiMode Quadrex SPM (AFM) - Микроскопија у пољу атомских сила | Talistep - уређај за мерење дебљине танких слојева и површинске храпавости | ||||
|
|
 |
||||
| MTI GSL 1600X вакуумска пећ | Zeiss Axio - оптички микроскоп | MTI Програмирајући спин коатер | ||||
